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MI-9500

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超高精度检测

新开发的数字插值技术能够对7.5μm的超细线掩膜板进行精细检测。

新检测算法

新开发的缺陷检测算法大大提高了定位细微刻痕与隆起、检测黑白
针孔和开路/短路缺陷的能力。

假点数更少

装置中已加入一项新的功能,用于减少由设计或生产因素导致的设
计的假点数。这项功能使您在保持检测能力的同时,指定假点的类
型和位置,以减少总的假点数。

强化装置支持高精度检测

自动对焦装置作为一项标准特征提供。检测期间,装置基于掩膜板
表面条件进行实时自动对焦。该装置总是在正确的对焦位置进行扫
描,从而进行高可靠性的准确检测。此外,为膜片与玻璃掩膜板安
装光学定位装置,防止掩膜板搬运时出现损坏。

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