特点
采用调光器，实现了高品质的掩模成像
产品信息
1) 带有高速扫描SLM的切割光棚扫描技术可以生成高质量的铭掩模成像。以前容易出问题的一般用途的光致抗蚀剂现在也可用於成像。
2) 标淮成像节距可以在4种尺度间切换：0.5um，0.25um，0.125um和0.05um。输出略图速度快，详图画质高，每个干基板都可以找到最合适的成像模式。
3) LD激光用作光源，实现更长的使用寿命和更方便的更换，极大地减少了设备停机时间。
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