特点
高生产能力，高精度型成像
高生产能力，高精度型成像
产品信息
1) 整合了CI8000的CAM系统可以实现RS-274X，ODB++和Gerber基础格式的轻松输入。
2) 通过在0.01um的装备中计算图像数据统可减小数据格式转换後可能出现的量化误差。这样就可以用CAD数据重新生成像生成高精度的图像。
3) 拥有最优成像精度的高速输出可用於每个成像模式。
4) 不必对薄膜加压，通过输片系统的加速和新加戴机构的使用，可以获得良好的尺寸稳定性。
5) 记录筒筒的构造得到了加强，这样可以使掩模粘接得更好，并允许更高精度的操作。
1) 整合了CI8000的CAM系统可以实现RS-274X，ODB++和Gerber基础格式的轻松输入。
2) 通过在0.01um的装备中计算图像数据统可减小数据格式转换後可能出现的量化误差。这样就可以用CAD数据重新生成像生成高精度的图像。
3) 拥有最优成像精度的高速输出可用於每个成像模式。
4) 不必对薄膜加压，通过输片系统的加速和新加戴机构的使用，可以获得良好的尺寸稳定性。
5) 记录筒筒的构造得到了加强，这样可以使掩模粘接得更好，并允许更高精度的操作。
