特点
超高精细掩模检测
提高速度
高精度检测
超高精细掩模检测
提高速度
高精度检测
产品信息
通过高分辨率光学系统的开发和高速图像处理装置，现在，Mi8700甚至可以检测12.5um线幅的高密度型材料。Mi8700对於高精度、高密度玻璃和薄膜掩掩检测的性能非常出色。除了过去能进行的12.5um和2.5um型检测模式，mi8700又加入了1.875um，3.75um和5um型检测模式，共计5种不同的检测模式。运用Mi8700操作员可以设定检测哪个区域，从而增加模式匹配和DRC检测的分辨率。
通过高分辨率光学系统的开发和高速图像处理装置，现在，Mi8700甚至可以检测12.5um线幅的高密度型材料。Mi8700对於高精度、高密度玻璃和薄膜掩掩检测的性能非常出色。除了过去能进行的12.5um和2.5um型检测模式，mi8700又加入了1.875um，3.75um和5um型检测模式，共计5种不同的检测模式。运用Mi8700操作员可以设定检测哪个区域，从而增加模式匹配和DRC检测的分辨率。
